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掺磷纳米硅薄膜的微结构 总被引:4,自引:0,他引:4
采用喇曼(Raman)散射谱、高分辨率电子显微镜(HRTEM)和原子力显微镜(AFM)对掺磷纳米硅薄膜的微结构进行了分析,并对纳米硅薄膜的传导机制进行了探讨.结果表明:掺磷纳米硅薄膜由尺寸为2~4*#nm的晶粒和2~3个原子层厚的非晶界面构成,计算得到薄膜的晶态比为40%~55%.与本征纳米硅薄膜相比,掺磷纳米硅薄膜晶粒尺寸和晶态比没有明显变化,电导率却提高了2个数量级.随着掺磷浓度增加,纳米硅薄膜的晶粒尺寸、晶态比及电导率逐渐增大.AFM观察表明掺磷纳米硅薄膜由尺寸介于15~20*#nm的团簇构成,团簇排列具有带状特征. 相似文献
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提出了一种利用线阵CCD传感器作为接收装置,以8253编程芯片实现自动测量并实时显示测量结果的底片判读仪透射屏厚度测量系统。文中主要论述了该系统的工作原理和软硬件的实现途径,并分析了系统的测量误差;文章最后列出了实测数据,证明了系统的可行性和先进性。 相似文献
24.
基于DCOM技术构建分布式数控故障诊断系统 总被引:5,自引:0,他引:5
简要介绍DCOM技术的特点,对利用DCOM技术构建分布式数控故障诊断系统进行了研究,并提出了系统的组件模型结构。 相似文献
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本文介绍了基于数字样机的全新管路系统设计。通过构建规范化的数字样机,借助研究开发的规范、应用程序、数据库,实现了发动机结构参数提取、空间数据管理与分析、管路路径生成与路径快速更新。借助标准件库实现面向加工与装配的全新设计模式,达到了设计的高速、高质量和低开发成本等多个目标。 相似文献
29.
通过对国内外航空发动机研制过程中可靠性发展情况的分析,针对实际操作中出现的问题提出了相应的改进措施和建议。 相似文献
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